瀧本 昭 | 金沢大学大学院 自然科学研究科
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概要
金沢大学大学院 自然科学研究科 | 論文
- ポリイミドをターゲットとした高周波スパッタ膜の成膜条件が薄膜に与える影響
- ポリイミドをターゲットとして作製した高周波スパッタ高分子薄膜 : 成膜時の電力と圧力が分子構造と基板との密着性に与える影響
- ポリイミドをターゲットとして作製した高周波スパッタ高分子薄膜 : 成膜時の電力と圧力が分子構造と基板との密着性に与える影響(有機薄膜・複合膜とデバイス応用,一般)
- ポリイミドをターゲットとした高周波スパッタ膜の成膜条件が薄膜に与える影響
- ポリイミドをターゲットとして作製したスパッタ膜のガス吸着特性