永嶋 賢史 | 論文著者

(株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター半導体プロセス開発第三部

(株)東芝セミコンダクター社先端メモリ開発センター先端メモリインテグレーション開発部

筑波大プラズマ研究センター

筑波大学プラズマ研究センター