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社団法人 精密工学会 | 論文
- ハイブリッド型スーパーエコシップの開発
- 非接触による光コンポーネントの自動レーザトリミング技術（第一報） : —二次関数近似による最適化—
- 3点法を用いた真直度測定におけるゼロ点ずれの除去
- TIA-N-MEMSの構築と今後の展開
- 射影復元を利用したカメラ・プロジェクタシステムの校正
- 研磨砥粒を含まないスラリを用いたＣｕＣＭＰ技術の開発 : −不均一発泡ポリウレタンパッドを用いたＣｕ残渣の低減−
- Cu/Low-k配線対応CMPプロセスの開発 : −低選択バリアメタル研磨による表面段差是正の検討−
- スキャン光学エンコーダに関する一研究 : −レーザ干渉によるスキャン光学系と位相同期検波による高分解能位置センサ−
- すべりねじステージの制御構造の一研究 : −機械非線形特性の把握と制御−
- 結合面の不均一接触状態が結合部接触熱抵抗に及ぼす影響
- 磁気粘性流体を利用した毛細管内面研磨技術の開発
- 高速M推定を用いたロバストな高速Hough変換
- 未踏の光源、X線自由電子レーザー開発に挑む！
- X線自由電子レーザー用大型集光ミラーの開発
- 微小空間を利用する化学分析
- フェムト秒レーザ照射によるシリコンウェーハの周期的パターニングと異方性エッチングによる微細構造形成
- ボールねじステージにおける電磁ダンパ制御の一研究 : −ボールねじと小型リニアモータを組み合わせた高スループットステージの実現−
- 生産シミュレーションへの期待
- ステンレス鋼板のレーザ溶接システムに関する状態監視システムの開発
- ステンレス鋼板のレーザスポット溶接に関する品質評価システムの開発