65nmノードに対応したLow-k/Cu配線プロセス (超LSI製造・試験装置ガイドブック 2004年版) -- (プロセス技術編)

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概要

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• 工業調査会の論文

著者

• 小林 伸好

  (株)半導体先端テクノロジーズ第1研究部

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