次世代半導体向けLow-k膜 (特集 半導体プロセス技術のイノベーション)

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概要

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• 工業調査会の論文

著者

• 村上 裕彦

  日本真空技術・筑波超材研

• 中山 高博

  日本真空技術・筑波超材研

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