Quantitative Detection of Small Amount of Nitrogen in Czochralski-Grown Silicon Crystals

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• Japan Society of Applied Physicsの論文
• 2003-03-15

著者

• Ono Haruhiko

  Silicon _systems Research Laboratories Nec Corporation

• HORIKAWA Mitsuhiro

  Elpida Memory Inc.

関連論文

• Quantitative Detection of Small Amount of Nitrogen in Czochralski-Grown Silicon Crystals

スポンサーリンク