DSPとIGBTインバータ電源を組み合わせたプラズマ水平方向位置の高速フィードバック制御
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概要
著者
-
高村 秀一
名古屋大学
-
上杉 喜彦
名古屋大学大学院工学研究科エネルギー理工学専攻
-
上杉 喜彦
金沢大
-
菊池 祐介
名古屋大学大学院工学研究科エネルギー理工学専攻
-
豊田 光洋
名古屋大学工学研究科エネルギー理工学専攻
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