ガラス研磨の計算科学シミュレーション : 酸化セリウムに代わる代替砥粒の設計指針の提案 (特集 先端電子デバイスの量産を支える超精密研磨技術)

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概要

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著者

• 尾澤 伸樹

  東北大院工

• 中村 美穂

  東北大院工

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