ゾル-ゲル技術を用いたPZT系薄膜キャパシタ材料の高寿命化 (特集 誘電体薄膜とその実用化動向)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

著者

• 野口 毅

  三菱マテリアル(株)中央研究所

• 桜井 英章

  三菱マテリアル(株)中央研究所

関連論文

• 高信頼性PZT薄膜キャパシタの開発
• 報文 : シリカ粉末の新しいスルホン酸修飾およびその特性
• ゾル-ゲル技術を用いたPZT系薄膜キャパシタ材料の高寿命化 (特集 誘電体薄膜とその実用化動向)

スポンサーリンク