高信頼性PZT薄膜キャパシタの開発

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概要

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• 2010-05-25

著者

• 野口 毅

  三菱マテリアル(株)中央研究所

• 桜井 英章

  三菱マテリアル(株)中央研究所

• 藤井 順

  三菱マテリアル(株)中央研究所

• 渡辺 敏昭

  三菱マテリアル(株)三田工場

• 曽山 信幸

  三菱マテリアル(株)三田工場

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