特集 ドライアイ最近の話題2011

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概要

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論文 | ランダム

• 酸素イオンアシスト蒸着によるYBCO薄膜のTc向上化の成膜条件依存症
• プラズマモニタリングを用いたYBa_2Cu_3O_x薄膜の作製
• マグネトロンスパッタ法で作製した窒化銅膜のヨウ素化
• DCスパッタ法によるCrOx薄膜と圧力センサの可能性
• 低エネルギー酸素イオン照射によるYBCO薄膜の低温成長の可能性

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