CF3Iガス及びCF3I/N2混合ガスの不平等電界下における放電特性
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概要
著者
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武田 敏信
東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻
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松岡 成居
東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻
-
熊田 亜紀子
東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻
-
日高 邦彦
東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻
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