CF_3Iガス及びCF_3I/CO_2混合ガスの沿面放電特性
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概要
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- 2010-06-28
著者
-
松岡 成居
東京大学
-
熊田 亜紀子
東京大学
-
日高 邦彦
東京大学
-
武田 敏信
東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻
-
日高 邦彦
東京大学大学院 工学系研究科
-
日高 邦彦
東大 大学院工学系研究科
-
Koh H
The Institute Of Scientific And Industrial Research Osaka University
-
武田 敏信
東京大学大学院 工学系研究科 電気系工学専攻
-
武田 敏信
東京大学
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