共焦点レーザ走査顕微鏡とラマン分光計を組み合わせたMEMS素子の実験による機械的応力特性化
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 単結晶SiCにおけるフェムト秒レーザー照射による誘起微細周期構造生成に伴う相転移の顕微ラマン分光による評価
- 単結晶SiCにおけるインデンテーション圧痕部の顕微ラマン分光
- 4H-SiCにおける押込み部への共焦点顕微鏡・ラマン分光複合装置の適用
- 顕微ラマン分光法によるSiC表面周期構造のアモルファス構造の評価
- 共焦点・位相シフト干渉顕微鏡のナノインデンターへの応用
- 28pPSA-57 顕微ラマン分光およびTEM/EELSによるレーザー誘起表面ナノ構造の解析(28pPSA 領域5ポスターセッション,領域5(光物性))
- 28aPS-56 顕微分光によるフェムト秒レーザー誘起ナノ周期構造の評価(28aPS 領域5ポスターセッション,領域5(光物性))
- ナノインデンテーション試験高度化に向けた新手法
- 顕微ラマン分光による微小領域の応力・結晶性評価
- 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第2報) -工具ねじれ角が切削抵抗及び工具摩耗に及ぼす影響-
- 共焦点顕微鏡・ラマン分光複合装置による応力・歪測定--MEMSの信頼性評価への適用
- 共焦点レーザ走査顕微鏡とラマン分光計を組み合わせたMEMS素子の実験による機械的応力特性化
- 共焦点顕微鏡・ラマン分光複合装置によるMEMSの応力評価
- 数値制御工作機械の位置決め精度評価方法(新しいISO規格)
- ナノインデンテーション試験高度化に向けた新手法 (硬さ試験特集 ナノインデンテーション領域における材料特性の高度化への新手法と超微小領域加工技術)
- 位相シフト干渉ユニット付きレーザー顕微鏡による圧痕観察
- ナノインデンテーション試験高度化に向けた新手法 (特集 ナノテクノロジー)
- 共焦点顕微鏡・ラマン分光複合装置による応力・ひずみ測定 : MEMSの信頼性評価への適用
- 顕微ラマン分光による半導体表面に形成されたフェムト秒レーザー誘起リップルの評価
- 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第1報) -切削抵抗の測定手法の検討-
- 材料特性評価用ナノインデンテーション-ラマン分光複合装置の開発
- 工作機械における機上計測技術
- 小型超精密切削加工機の試作開発
- すぐに役に立つ精密機械技術ノート(2)材料と性能--複合材料の問題点
- 212 外観検査向け設備シミュレーションの研究 : 第二報 仮想カメラ生成画像の寸法検査の視点による基礎的実験(OS2-3 先進システムとシミュレーション)
- 新技術に関する調査--超精密加工系に関する研究動向調査報告
- 硬脆材料の超精密加工を可能とする超精密旋盤の開発
- 硬脆材料の超精密加工を可能とする超精密旋盤の開発
- 光学ガラスと単結晶ダイヤモンドの摩擦摩耗特性