還元型酸化チタンターゲットを用いたNbドープTiO2透明導電膜のDCスパッタ成膜 ([日本電子材料技術協会]第43回秋期講演大会--優秀賞受賞論文と受賞者の感想)

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概要

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• 日本電子材料技術協会の論文

著者

• 宮村 会実佳

  青山学院大学大学院理工学研究科

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