RF MEMS可変容量素子 (特集 ナノテクノロジー)

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概要

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• 東芝技術企画室の論文

著者

• 杉崎 吉昭

  (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター

• 池橋 民雄

  (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター

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