3次元MEMS構造封止のためのSTP技術とその応用 (特集 MEMSデバイス技術)

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概要

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• 電気通信協会の論文

著者

• 小野 一善

  Ntt マイクロシステムインテグレーション研

• 小野 一善

  日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所

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