ダブルパルス制御方式の固体レーザアニール技術--ハイパワートランジスタの裏面活性化プロセスへの応用 (小特集 半導体産業におけるレーザアニーリング装置と技術)

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概要

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• 高温学会レーザ加工学会の論文

著者

• 工藤 利雄

  住友重機械工業(株)技術開発センター

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