レーザー生成プラズマによるリソグラフィー用EUV光源の開発 (特集 レーザー応用技術の最新動向--高出力レーザーを中心に)

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概要

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著者

• 宮永 憲明

  阪大レーザー研

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• 27a-F-6 間接/直接ハイブリッド方式によるレーザー爆縮
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• フェムト秒レーザ加工を用いた表面ナノ構造作製の新展開 (特集 最新のレーザ利用研究)
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• 27a-F-5 間接・直接混成フォームハイブリッドの爆縮
• 5p-YM-11 X線分光法による爆縮安定性の観測 : 照射条件に対する依存性II
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• 28a-YC-3 レーザーパワーバランス及び集光包絡線制御による低次モード不均一の低減
• 29p-ZD-9 スペクトル角度分散部分コヒーレント光による照射一様性の改善(プラズマ物理・核融合)
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