スパッタ法によるAlN薄膜の作製とサブマウントへの応用

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概要

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• エレクトロニクス実装学会の論文
• 2005-10-13

著者

• 塩野 晃宏

  信州大学工学部電気電子工学科

• 中久木 政秀

  信州大学工学部電気電子工学科

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