Initial Growth Process of TiN Films in Ultrahigh-Vacuum Rapid Thermal Chemical Vapor Deposition

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概要

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• Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文

著者

• Okuda Yasuyuki

  Nagoya Univ. Nagoya Jpn

• Nakatsuka Osamu

  Nagoya Univ. Nagoya Jpn

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