エアロゾルデポジション(AD)法により成膜したPNN-PZT厚膜の電気機械特性 (ファンクショナルデバイス特集) -- (圧電デバイス)

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概要

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• NECトーキンの論文

著者

• 川上 祥広

  Necトーキン

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