エアロゾルデポジション法による圧電厚膜形成と超音波モータへの応用

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概要

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• 2008-09-01

著者

• 川上 祥広

  Necトーキン(株)研究開発本部 材料開発センター

• 川上 祥広

  Necトーキン

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