次世代リソグラフィを実現する新真空紫外域光学材料の開発動向 (特集 キーワードで知る真空技術の最前線)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- CaF2単結晶アニール後の複屈折シミュレーション (特集:材料物性から見たフッ化物・酸化物単結晶の育成技術)
- フッ化カルシウム単結晶アニール後の複屈折シミュレーション--クリープ挙動を考慮した残留応力による解析
- フッ化カルシウム単結晶アニール後の複屈折シミュレーション : クリープ挙動を考慮した残留応力による解析
- MgF_2単結晶アニール後の複屈折シミュレーション(マクロ分子の関与する結晶成長)
- 612 CaF_2単結晶アニール後の複屈折シミュレーション(電子デバイス材料,OS01 電子デバイス・電子材料と計算力学)
- CZ法大型CaF_2単結晶の育成と光学特性
- 次世代リソグラフィを実現する新真空紫外域光学材料の開発動向 (特集 キーワードで知る真空技術の最前線)
- ポリプロピレン射出成形体の耐傷付き性改良 : 断熱金型成形による高次構造形成と物性発現機構
- CaF_2単結晶アニール後の複屈折シミュレーション(材料物性から見たフッ化物・酸化物単結晶の育成技術)
- 1516 任意方向育成フッ化カルシウム単結晶のアニール後の複屈折解析 : クリープ挙動を考慮した解析(OS15.電子デバイス・電子材料と計算力学(4),オーガナイズドセッション)
- 705 フッ化マグネシウム単結晶アニール後の複屈折解析(OS4.電子デバイス・電子材料と計算力学(1),オーガナイズドセッション)
- CaF_2単結晶アニール後の複屈折シミュレーション