実用化進む原子力技術の応用(3)高密度プラズマCVD装置「MAPLE」

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日刊工業出版プロダクションの論文

著者

• 井上 雅彦

  三菱重工業(株)

• 松田 竜一

  三菱重工業(株)

関連論文

• 疑似リモートプラズマ技術における低温・低水素プロセスのデバイス適用
• 実用化進む原子力技術の応用(3)高密度プラズマCVD装置「MAPLE」
• 410 強制冷却式プラズマ対向機器の開発 : C/Cコンポジットと銅接合材の耐熱性

スポンサーリンク