超高周波/超低消費電力バイポーラトランジスタ搭載Bi-CMOSプロセス (特集 1チップソリューションに向けたシステムLSI技術)

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概要

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• 松下電器産業R&D企画室の論文

著者

• 粉谷 直樹

  松下電子工業(株)半導体社プロセス開発センター

• 加藤 芳規

  松下電子工業(株)半導体社IC事業部

• 山口 善孝

  松下電子工業(株)半導体社IC事業部

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