Dielectric Gap Fill Technology for STI for the 0.10μm Era (新しい地球環境と豊かなネットワーク社会を生み出す半導体技術) -- (セッション8 先端デバイス技術--限りなき微細化・高機能化への挑戦)

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概要

SEMIジャパン | 論文

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