X線マスク製造技術から生まれた微小光学部品 (特集 メカノオプティクス)

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概要

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• 新技術コミュニケ-ションズの論文

著者

• 吉原 秀雄

  Ntt-atナノファブリケーション(株)

• 柴山 昭則

  NTT-ATナノファブリケーション(株)

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