柴山 昭則 | NTT-ATナノファブリケーション(株)

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概要

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• 同名の論文著者
• NTT-ATナノファブリケーション(株)の論文著者

関連著者

• 吉原 秀雄

  Ntt-atナノファブリケーション(株)

• 柴山 昭則

  NTT-ATナノファブリケーション(株)

著作論文

• X線リソグラフィ技術の微細加工部品への応用
• X線マスク製造技術から生まれた微小光学部品 (特集 メカノオプティクス)
• NTT-AT事業活動情報 AT-ソリューション X線マスク製造技術で超微細化製品を創出

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