半導体工場の使用済み現像液などの回収再生装置の技術開発 (特別企画 環境装置)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• ジェティの論文

著者

• 田嶋 義宣

  オルガノ株式会社総合研究所

• 菅原 広

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

関連論文

• 全フッ素化化合物の連続循環ガスクロマトグラフによる分離基礎実験
• 電気透析法を用いた使用済み現像液の再生・再利用技術
• 半導体工場の使用済み現像液などの回収再生装置の技術開発 (特別企画 環境装置)
• 全フッ素化化合物の連続循環ガスクロマトグラフによる分離基礎実験

スポンサーリンク