リモートプラズマMO-CVD法による近紫外発光素子用酸化亜鉛薄膜の作成

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概要

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著者

• 千賀 信幸

  日本真空(株)

• 羽賀 浩一

  仙台電波工業専門学校

• 柏葉 安宏

  仙台電波工業高等専門学校

• 柏葉 安宏/羽賀

  仙台電波工業高等専門学校/仙台電波工業高等専門学校

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