マルチチャンバーMO-CVD装置の製作と高品位酸化亜鉛薄膜の作成
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概要
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- 2001-12-22
著者
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千賀 信幸
日本真空(株)
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羽賀 浩一
仙台電波工業専門学校
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柏葉 安宏
仙台電波工業高等専門学校
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千賀 信幸
仙台電波工業高等専門学校電子システム工学専攻2年
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庄子 博
三菱ビルテクノサービス(株)
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柏葉 安宏/羽賀
仙台電波工業高等専門学校/仙台電波工業高等専門学校
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千賀 信幸/庄子
仙台電波工業高等専門学校電子システム工学専攻2年/三菱ビルテクノサービス(株)/仙台電波工業高等専門学校/仙台電波工業高等専門学校
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