テトラメチルシランのプラズマ重合への混合ガスの影響 (プラズマ重合特集号)

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概要

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• 高分子学会の論文

著者

• 陳 克紹

  静岡大学電子科学研究科

• 勝浦 嘉久次

  静岡大学工学部

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