3次元光配線技術--電子と光の融合するIC--直接接合プロセスについて (リアル・ワ-ルド・コンピュ-ティング(RWC)<特集>)

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概要

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• 日本科学技術振興財団・科学技術館の論文

著者

• 上條 健

  沖電気工業(株)半導体技術研究所

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