2次イオン質量分析法によるシリコン結晶中の炭素と酸素の分析において定量性に影響する因子

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本金属学会の論文

著者

• 中田 嘉信

  JRCAT-ATP

関連論文

• 30a-PS-32 超音速パルス分子線散乱装置の基本特性
• 2次イオン質量分析法によるシリコン結晶中の炭素と酸素の分析において定量性に影響する因子

スポンサーリンク