単元素半導体シリコン表面の酸化 (金属と半導体の表面不働態化<特集>)

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概要

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• 日本金属学会の論文

著者

• 南条 淳二

  北見工業大学電子工学科

• 野村 滋

  室蘭工業大学電気電子工学科

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