TEM sample preparation by FIB milling method (日本電子顕微鏡学会第46回シンポジウム 材料のナノ・生物のナノ) -- (共通セッション3 装置)

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概要

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• 日本電子顕微鏡学会の論文

著者

• 上野 武夫

  株式会社日立ハイテクノロジーズ

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