気体放電における電子スウォ-ム (電子スウォ-ム<特集>)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 累積電離
- 28p-ZE-10 電子スウォームの速度分布関数と輸送係数の研究 : HCI, SF_6
- 27p-ZE-4 緩和連続体モデルによるHCI, RFグロー放電のモデリング
- 第20回電離気体現象に関する国際会議
- 狭ギャップRIEにおける負イオンとダブルレヤ-効果 (平成3年度理研シンポジウム「プラズマの基礎過程--最近のシ-ス問題」(1991年12月16日開催)特集号)
- IP-P-7 ExB場、電子スウォームの3次元速度分布関数の研究(II)
- 3p-P-5 最近のイオンスウォーム研究-輸送現象及びクラスター反応研究の現状 : イオンスウォームの輸送と速度分布
- 28p-H-8 RF場、CH_4中での電子スウォーム輸送のW/N特性
- 3p-RA-4 イオン・スウォ一ムのエネルギー分布の観測(I) Cs^+-He系
- 3p-RA-3 高周波電界下の電子スオームのポルツマン方程式解析
- 第16回電離気体現象国際会議 (ICPIG-16)
- 13p-DF-3 電子(軽いイオン)スウォームの拡散テンソル
- 29p-T-7 電子スオームの拡散テンソル
- 29p-T-6 電子スオームのエネルギー分布の観測
- スウォーム中の加熱, 冷却効果
- 2p-SE-6 イオン・スオームの高次の輸送係数
- 2p-E-5 電子スオームの輸送過程(拡散テンソルについて)
- 5a-NT-10 N_2ガス中のクエンチング効果の研究
- 4a-NT-7 イオンの輸送過程の研究 II
- 2p-T-6 電子スオームの輸送過程の解析
- DCマグネトロンのシミュレーション
- 非平衡プラズマと微細加工のモデリング調査専門委員会
- 気体放電現象のコンピュ-タシミュレ-ション (放電現象--基礎と応用)
- 気体放電における電子スウォ-ム (電子スウォ-ム)
- 5p-K-5 酸素ガスの電離成長について
- 5p-K-4 定常タウンゼント放電の電流成長過程における非平衡域の影響について
- トップダウン プラズマ ナノ加工をデザインするために (特集 放電学会春季シンポジウム プラズマシミュレーションの最前線--放電はどこまでシミュレーションできるか?)
- プラズマエッチングのコンピュータシミュレーション : 計算(非平衡)プラズマ物理からのアプローチ
- Townsend放電域へのBoltzmann方程式の適用について
- 2p-T-4 光束法によるN_2ガス中の電離係数の測定
- 反応性非平衡プラズマのモデリング
- 反応性プラズマとモデリング (制御されたプロセス用プラズマを目指して--その現状と将来展望)
- 1a-T-6 イオンの輸送過程の研究 I
- 30a-T-6 E.C.法による電子スオームのエネルギー分布関数の測定
- 3a KJ-5 放電生成物の質量分析
- 5p-AC-6 電子速度分布関数の多項近似理論
- 3p-CG-3 Townsend放電中の電子エネルギー分布関数