熱CVD非晶質シリコン薄膜トランジスタ (ガラス基板上の薄膜トランジスタ技術<特集>)

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概要

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• 電気学会の論文

著者

• 加納 博司

  東京工業大学工学部(日本電気株式会社)

• 松村 正清

  ジャイアントマイクロエレクトロニクスとその応用論文特集編集委員会

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