RFマグネトロンスパッタ法により作製したCr-N薄膜 (第30回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 吉竹 正明

  大阪府立産業総合技術研究所材料技術部薄膜グループ

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