反応性RFマグネトロンスパッタ法によるZr-C薄膜の作製 (第29回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 吉竹 正明

  阪府産技総研

• 吉竹 正明

  大阪府立産業総合技術研究所材料技術部薄膜グループ

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