ACフリ-マン・イオン源のイオン・ビ-ム発生特性(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 田畑 収

  Thin Film Lab.

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