イオンビ-ム励起X線分析 (最新の分析技術<特集>) -- (方法編)

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概要

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著者

• 浅利 正敏

  (株)島津製作所中央研究所

• 林 茂樹

  (株)島津製作所けいはんな研究所

関連論文

• 高エネルギーイオンビーム分析装置の開発(1994年度(第14回)精密工学会技術賞)
• 飛行時間型光電子分光装置の開発
• レーザーを用いた非破壊計測技術の開発
• 28a-WB-6 Asクラスタイオンビーム照射によりAs終端したSi(100)表面のCAICISSによる評価
• 28a-WB-5 Asクラスタイオンビーム照射によるSi(100)基板表面のクリーニング
• イオンビ-ム励起X線分析 (最新の分析技術) -- (方法編)

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