材料設計と分子の目--分子動力学シミュレ-タを用いたSiやSiO2などの観察 (分子の目で見る<特集>)

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概要

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• 化学工学会の論文

著者

• 恩賀 伸二

  東芝研究開発センター先端半導体デバイス研究所

• 岡田 多佳子

  東芝研究開発センター先端半導体デバイス研究所

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