超微細加工とプラズマ技術 (放射線・プラズマ<〔応用物理〕創刊50周年記念特集>) -- (放電プラズマの物性と応用)

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概要

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• 応用物理学会の論文

著者

• 阿部 東彦

  三菱電機 (株) Lsi 研究所

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