阿部 東彦 | 三菱電機 (株) Lsi 研究所
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概要
関連著者
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阿部 東彦
三菱電機 (株) Lsi 研究所
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米田 昌弘
三菱電機株式会社ulsi開発研究所
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林出 吉生
三菱電機(株)ULSI技術開発センター LSIプロセス開発部超清浄開発グループ
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林出 吉生
三菱電機 (株) Lsi 研究所
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小谷 秀夫
三菱電機 (株) LSI 研究所
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松浦 正純
三菱電機 (株) LSI 研究所
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林出 吉生
三菱電機(株)ulsi開発研究所
著作論文
- エッチング (〔表面技術協会〕40周年記念号) -- (最近の研究の進歩)
- 超LSIの微細加工技術 (極限に挑む) -- (作製法(加工))
- 超LSIの現状と展望 (超LSIプロセス技術)
- 層間絶縁膜の平たん化技術
- 超微細加工とプラズマ技術 (放射線・プラズマ) -- (放電プラズマの物性と応用)