2E11 水溶液直接合成法による機能性酸化物のパターンニング I : レジストパターンの転写

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 1999-10-06

著者

• 内本 喜晴

  京大院人・環

• 内本 喜晴

  東京工大 大学院

• 八尾 健

  京大院

• 矢部 裕城

  京大院

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