3D30 ICB 法による Fe-Si-O 系薄膜の熱電特性
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概要
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- 日本セラミックス協会の論文
- 1991-05-22
著者
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山本 義明
松下電器産業(株)研究本部環境エネルギ-研究所
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中桐 康司
松下電器デバイス工法研
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西脇 文俊
松下電器デバイス工法研
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行天 久朗
松下電器住環境システム研
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山本 義明
松下電器住環境システム研
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山本 義明
松下電器産業
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