3D29 スパッタ法による Fe-Si 系薄膜の熱電特性

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 1991-05-22

著者

• 山本 義明

  松下電器産業(株)研究本部環境エネルギ-研究所

• 中桐 康司

  松下電器デバイス工法研

• 西脇 文俊

  松下電器デバイス工法研

• 行天 久朗

  松下電器住環境システム研

• 山本 義明

  松下電器住環境システム研

• 山本 義明

  松下電器産業

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