31p-ZM-8 トランジスタへのプラズマプロセスダメージのUV光ブロック膜による低減と強誘電体メモリーへの適用

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概要

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• 1999-03-28

著者

• 田中 真一

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 首藤 晋

  東芝マイクロエレクトロニクス研究所

• 国島 巌

  東芝マイクロエレクトロニクス研究所

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